蒸馏设备的减压蒸汽蒸馏方式常在水中蒸馏时结合进行。有些富含不饱和烯烃类成分的精油，如柑桔类精油，因温度高，易引起“热聚”，减压蒸馏就能降低蒸馏温度，以减轻因热而聚合的现象。减压常在冷凝器馏出段处进行减压，由于减压虽然加快了蒸馏速度，但温度下降时，水的蒸汽压降低远比油慢，所以水对油的质量比率相对增高，因而要求冷凝器应该有较大的冷凝。

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     加压蒸馏，一般常采用加压直接蒸汽蒸馏的方式。由于压力升高，锅内温度也随之升高，而水的蒸汽压力升高并不随温度升高而比增长，油的蒸汽压力却随温度升高成正比增长，于是这就加大了油水比例中油的比例。同时，在加压过程中，由于蒸馏温度升高，加快了“水散”作用，使精油中粘度大、沸点高的以及挥发低的成分得以扩散和蒸出，从而也缩短了蒸馏时间。
     但加压不能过高，否则会引起精油中一部分成分热解，一般加压范围为0.1~0.4Mpa。这种蒸馏设备的减压或加压蒸汽蒸馏方式 常适合于含有沸点高，粘度大及含有较高含氧倍半萜类精油的蒸馏。